Lithographie Extreme UV

1

Les micropuces contiennent des transistors et des fils de taille nanométrique. Mais comment ces structures nanoscopiques sont-elles construites ? Dans cette vidéo, nous allons explorer le système de photolithographie EUV conçu par ASML. Cette machine, d’une valeur de 150 millions de dollars, est en quelque sorte un photocopieur de micropuces : elle copie la conception d’une micropuce sur des centaines de micropuces sur une plaquette de silicium. Ce système de photolithographie EUV est l’une des machines les plus complexes jamais conçues et englobe tout un monde de science et d’ingénierie. Dans cette vidéo, nous allons explorer en détail l’outil de lithographie EUV et explorer la production de lumière EUV 13 nm, sa focalisation sur un photomasque, le déplacement du photomasque, l’aspect des motifs sur le masque, l’optique de projection, ainsi que le déplacement du wafer et de son support. Rejoignez-nous dans cette aventure au cœur de la photolithographie EUV !

2

ça date un peu on en est a la lithographie par faisceau d’electron

2 « J'aime »
3

Ah bon :thinking: ?
Un nouvel inconnu concurrent d’ ASML ferait-il mieux ? Je n’ai rien trouvé de tel sur Internet.
A ce jour ASML en est toujours aux extrèmes UV (EUV) .
Embargo oblige, les chinois planchent sur une machine similaire avec une production du faisceau de gravure différente d’ASML mais toujours dans l’EUV.

1 « J'aime »
4

A échelle industrielle l’EUV est bien plus rapide. Il me semble que la lithographie électronique est utilisée pour faire les masques?

5

Chaîne officielle ASML: https://www.youtube.com/@ASMLcompany

Fabrication des miroirs EUV: